六氟丁二烯
六氟丁二烯
发布时间:2017/4/7 17:25:28   浏览次数:5908次 

结构式:

 

基本信息:

产品名称:六氟丁二烯 hexafluorobutadiene-1,3

CAS号:685-63-2

分子式:C4F6

 

物理性质:

分子量

熔点

沸点

临界温度

临界压力

液体密度

气体密度

水中溶解度

危险性类别

162.03

-132oC

6 oC

170.7 oC

6.08MPa

1.425 g/cm3

5.6

不溶解

第2.3类有毒气体

 

产品指标:

项    目

指   标

六氟丁二烯纯度,10-2      ≥

氧含量,10-6              ≤

氮含量,10-6              ≤

二氧化碳含量,10-6        ≤

一氧化碳含量,10-6        ≤

有机碳氟含量,10-6        ≤

水含量,10-6              ≤

酸份(以HF计)含量,10-6  ≤

IPA(异丙醇)            ≤

99.9

10

40

40

10

750

20

10

20

99.98

5

10

5

5

140

15

10

10

 

包装规格:

钢瓶容积

阀门

钢瓶压力

气体质量

UN编号

10 L,47 L

DISS726,CGA350

0.1 MPa

5 kg,10 kg,50 kg

3160

 

应用:

六氟丁二烯主要用于半导体的等离子蚀刻,具有更快的蚀刻速率、高选择性和高深宽比,在大气中寿命较短,全球变暖潜值和传统刻蚀剂相比可忽略不计。是一种温室效应低,绿色环保的高效刻蚀剂。

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