六氟化钨
六氟化钨
发布时间:2016/5/23 16:47:33   浏览次数:9689次 

从事六氟化钨的研发生产已有十余年的时间,现已100t/a的高纯(99.9999%)六氟化钨生产线,填补了国内空白,产品指标处于国际领先水平,产生了良好的社会效益和经济效益。特气工程部生产的高纯六氟化钨(WF6)气体产品拥有自主知识产权,产品质量达到国家先进水平。获得河北省科技进步二等奖,邯郸市科技进步一等奖等荣誉。
六氟化钨是CVD工艺的原材料,在超大规模集成电路领域有着极其广阔的应用,近年来随着超大规模集成电路工业的快速发展,六氟化钨的需求量日益增大。
气体标识
名称:六氟化钨 CAS号:7783-82-6 分子式:WF6 

结构式:

气体物化特性

包装规格:采用钢质无缝气瓶盛装,以下包装方式可根据用户需要定制更改

储存及运输
储存:存储区温度不可高于52℃且不应有可燃物。存储区域应远离频繁出入处和紧急出口。不应有盐或其他腐蚀性物质存在。在通风良好且不受天气影响的地方存储,钢瓶应固定直立摆放。对于还未使用的气瓶应保持阀盖和输出阀的密封完好。将空瓶与满瓶分开存放。避免过量存储和存储时间过长。使用先进先出系统。保存精确的库存记录。
特殊要求:在有潮气的情况下六氟化钨能腐蚀大多数的金属。系统中不应有潮气。在系统使用前及停止使用后应用干的惰性气体(氦,氮等)吹扫。碳钢、不锈钢、镍、Monel 合金(Ni-Fe-Cu)及铜可以在没有潮气的情况下使用。不要用黄铜和铝。Ni-Mo-Cr合金、铂及金有很好的抗腐蚀性,可以在有潮气的情况下使用。Kel-FTeflon是首选的垫圈的材料。六氟化钨可以腐蚀玻璃和陶瓷。
六氟化钨气瓶在搬运时要轻装、轻卸,防止钢瓶及附件破损。
六氟化钨气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将六氟化钨气瓶固定好,用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。
泄漏应急处理
从受影响的地区疏散所有人。加强泄漏区的通风并检测氟化氢的浓度。如果泄漏较大,应考虑对下风口处进行疏散。救援人员应使用适当的防护设备。泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。如有工作人员中毒,应立即送往医院救治。
六氟化钨(WF6)气体产品技术指标 (WF6≥99.999%)

六氟化钨(WF6)气体的应用
在钨的氟化物中,六氟化钨是唯一稳定并被工业化生产的品种。它的主要用途是在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料,特别是用它制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。通过混合金属的CVD工艺制得钨和铼的复合涂层,可用于X-射线的发射电极。此外,六氟化钨在电子行业中还主要用作半导体电极和导电浆糊等的原材料。
六氟化钨还有许多非电子方面的应用,例如通过CVD技术使钨在钢的表面上生成坚硬的碳化钨可用来改善钢的表面性能。它还可用于制造某些钨制部件,如钨管和坩埚等。此外,WF6还被广泛用作氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。


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